发明名称 基底机台专用基底上片系统及其上片方法
摘要 一种基底机台专用基底上片系统,包括:直线手,具有间隔设置的第一工位和第二工位,并在所述直线手的水平面上活动设置可在所述第一工位和所述第二工位之间往复运动的板叉;预对准升降台,用于将所述待上片基底升高到所述第一预设高度或所述第二预设高度;边缘检测视觉系统,用于在所述第一预设高度处对所述待上片基底进行取样扫描;以及旋转交接手,用于在所述第二预设高低处与所述预对准升降台进行交接,以完成所述待上片基底上片过程。本发明所述基底机台专用基底上片系统不仅结构紧凑、功能多样,而且可兼容不同规格的待上片基底,同时提高了系统的集成度,降低了设备的生产成本。
申请公布号 CN103579059B 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201210276238.8 申请日期 2012.08.03
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 徐烨;王邵玉
分类号 H01L21/677(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种基底机台专用基底上片系统,其特征在于,所述基底机台专用基底上片系统包括:直线手,所述直线手具有间隔设置的第一工位和第二工位,并在所述直线手的水平面上活动设置可在所述第一工位和所述第二工位之间往复运动的板叉;预对准升降台,所述预对准升降台与所述板叉之向所述直线手外侧延伸的一端相邻设置,所述预对准升降台用于将待上片基底升高到第一预设高度或第二预设高度;边缘检测视觉系统,所述边缘检测视觉系统设置在所述预对准升降台外侧,并在所述第一预设高度处对所述待上片基底进行取样扫描;以及,旋转交接手,所述旋转交接手设置在所述预对准升降台外侧,并用于在所述第二预设高度处与所述预对准升降台进行交接,以完成所述待上片基底上片过程。
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