发明名称 一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料及其作为热电池能量转换器件的应用
摘要 本发明公开了一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料及其作为热电池能量转换器件的应用,利用微波等离子体技术在普通硅片基底上沉积金刚石薄膜;利用20%KOH溶液刻蚀掉硅基底,制备自支撑金刚石薄膜;通过电子束蒸发-沉积法或磁控溅射法在金刚石薄膜上沉积金属薄膜,再在金属薄膜上生长碳纳米纤维层。该方法生长的碳纳米纤维在近乎全太阳光波段内具有很高的吸收率,可将太阳辐射能转化成热能;而金刚石薄膜基底具有很好的热导率,能将碳纳米纤维吸收的热量快速传导给半导体热电能量转换材料,集成太阳能-热电池器件,实现高效率的太阳能-电能转换。该发明具有良好的工业应用前景及基础科学研究价值。
申请公布号 CN105633263A 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201410709618.5 申请日期 2014.11.30
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 姜辛;邰凯平;庄昊;黄楠;邱建航
分类号 H01L35/22(2006.01)I 主分类号 H01L35/22(2006.01)I
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人 许宗富;周秀梅
主权项 一种碳纳米纤维/金刚石复合薄膜材料,其特征在于:该复合薄膜材料包括金刚石薄膜层、金属层和碳纳米纤维层,其中:所述金刚石薄膜层的一侧表面具有凹槽结构,所述金属层沉积于所述凹槽的槽底,所述碳纳米纤维层生长在金属层上并填充于所述凹槽内。
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