一种电容式三轴一体化振动传感器

摘要

一种电容式三轴一体化振动传感器，包括：电容式硅微加速度计、滤波电路、隔直及偏置放大电路、电源电路；硅电容式加速度计将振动信号转化为电压信号并输出，其输出端与滤波电路的输入端连接；滤波电路采用八阶低通椭圆开关电容滤波器和RC电路，对硅电容式加速计输入的电压信号进行滤波，滤波电路输出与隔直及偏置放大电路输入相连；隔直及偏置放大电路滤除直流电压分量，得到0V～5V的电压信号并输出；电源电路提供工作电压。本实用新型能够适应较宽的供电电压范围，具有限流保护功能且频带、量程可调，消除了直流等低频分量以及高频分量对振动测量的影响，提高了测量精度，降低对数据采集设备的要求。

主权项

一种电容式三轴一体化振动传感器，其特征在于，包括：电容式硅微加速度计、滤波电路、隔直及偏置放大电路、电源电路；硅电容式加速度计将振动信号转化为电压信号并输出，其输出端与滤波电路的输入端连接；滤波电路采用八阶低通椭圆开关电容滤波器和RC电路，对硅电容式加速计输入的电压信号进行滤波，滤波电路输出与隔直及偏置放大电路输入相连；隔直及偏置放大电路滤除直流电压分量，得到0V～5V的电压信号并输出；电源电路与电容式硅微加速度计、滤波电路、隔直及偏置放大电路同时相连并提供工作电压。