摘要 |
고전압 발생기(13)는 고전압(HVDC)을 발생한다. 신호 발생기(33)는, 1 주기가 펄스 공급 기간 및 펄스 중지 기간을 포함하는 기간 설정 신호와, 그 주파수가 기간 설정 신호의 주파수보다 높은 임펄스 반복 주파수이면서, 그 진폭치가 고전압(HVDC)의 값보다 낮은 전압치를 보이는 펄스 신호를 서로 겹쳐, 펄스 신호가 펄스 공급 기간에만 발생하는 합성 신호를 생성한다. 반도체 스위치(40)는, 합성 신호의 전압치가 게이트 설정 전압치보다 낮을 때에 고전압 발생기(13)로부터의 고전압(HVDC)에 의해 용량 소자(16)에 전하를 축적시켜, 합성 신호의 전압치가 게이트 설정 전압치 이상일 때, 용량 소자(16)로부터 방출되는 전하에 의해 고전압(HVDC)의 값을 피크치로 하는 임펄스 전압을 발생한다. 안정된 임펄스 전압을 반복하여 발생시키는 기간과, 임펄스 전압을 발생시키지 않는 기간을 교대로 행하는 시험을 실현할 수 있다. |