| 摘要 |
본 발명은 결함 수정 장치에 있어서, 균일한 강도 분포를 가지는 레이저 광을 기판에 조사하는 것을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 레이저 광원으로부터 출사된 레이저 광을 광 섬유에 의해 가공 헤드로 도광(導光)하여 기판 상의 결함 부분을 수정하는 결함 수정 장치에 있어서, 상기 기판을 평면 상태로 유지하는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지를 협지하여 걸쳐서 건너는 게이트형 갠트리와, 상기 기판 스테이지와 상기 갠트리 중 한쪽을 상대적으로 이동시키는 구동 기구와, 상기 갠트리의 수평 빔을 따라 이동 가능하게 설치되고, 상기 레이저 광원과 가공 헤드가 일체로 장착된 장착부와, 상기 장착부에 일체로 장착된 상기 레이저 광원과 상기 가공 헤드 사이를 연결하는 광 섬유와, 상기 광 섬유를 서로 다른 방향으로 미소하게 굴곡하여 섬유 내의 모드 분포를 조정하는 복수의 모드 스크램블러를 구비한다. |
