一种基于石墨烯偏振无关的吸收型光调制器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯偏振无关的吸收型光调制器，包括基底层，基底层上端面设置有第一光波导层和第二光波导层，第一光波导层和第二光波导层之间从下往上依次设置有第一隔离介质层、第一石墨烯层、第二隔离介质层、第二石墨烯层及第三隔离介质层，第三隔离介质层的上端面和右侧面覆盖所述第二光波导层，第一石墨烯层和第二石墨烯层均从第一光波导层的左侧面向外部分延伸形成延伸部，第一石墨烯层和第二石墨烯层的延伸部分别连接有第一电极和第二电极，第一石墨烯层的延伸部设置有第一绝缘层，第二石墨烯层的延伸部设置有第二绝缘层。本发明可以同时对TE和TM模的光吸收系数进行一致的动态调谐，从而实现对光波的偏振不敏感调制。

主权项

一种基于石墨烯偏振无关的吸收型光调制器，包括基底层（1），其特征在于：基底层（1）上端面设置有第一光波导层（2）和第二光波导层（3），所述第一光波导层（2）的横截面为矩形结构，所述第一光波导层（2）和第二光波导层（3）之间从下往上依次设置有第一隔离介质层（41）、第一石墨烯层（51）、第二隔离介质层（42）、第二石墨烯层（52）及第三隔离介质层（43），所述第一隔离介质层（41）、第一石墨烯层（51）、第二隔离介质层（42）、第二石墨烯层（52）及第三隔离介质层（43）均覆盖在第一光波导层（2）的上表面和右侧面并形成直角弯折，所述第三隔离介质层（43）的上端面和右侧面覆盖所述第二光波导层（3），所述第一石墨烯层（51）和第二石墨烯层（52）均从第一光波导层（2）的左侧面向外部分延伸形成延伸部，所述第一石墨烯层（51）和第二石墨烯层（52）的延伸部分别连接有第一电极（8）和第二电极（9），且所述第一石墨烯层（51）的延伸部与第一光波导层（2）和基底层（1）之间设置有第一绝缘层（6），所述第二石墨烯层（52）的延伸部与第一光波导层（2）和基底层（1）之间设置有第二绝缘层（7）。