离子束照射装置和离子束电流均匀化方法

摘要

本发明提供离子束照射装置(100)等，能够在短时间内且稳定性良好地进行束电流的均匀化。在实现离子束的均匀化的均匀控制步骤中，所述控制装置执行：权重系数计算步骤，计算作为各灯丝电流(IF)的变化对各束电流(IB)的变化的影响程度的权重系数；以及灯丝理论电流计算步骤，根据在所述权重系数计算步骤中得到的权重系数，计算用于使各束电流(IB)的值尽可能接近规定的目标电流值的各灯丝的理论电流值。

主权项

一种离子束照射装置，其包括：离子源，具有能够使电流独立流动的多个灯丝；束电流传感器，所述灯丝的数量以上的数量的所述束电流传感器在与从所述离子源引出的离子束交叉的平面内的多个位置上，测量所述离子束的束电流；以及控制装置，控制在所述各灯丝中流动的灯丝电流，所述离子束照射装置的特征在于，所述控制装置在执行完平均束电流控制步骤之后，执行均匀控制步骤，所述平均束电流控制步骤计算由全部或一部分束电流传感器得到的束电流的平均值、并以使所述平均值进入规定的目标范围内的方式控制各灯丝电流，所述均匀控制步骤分别计算并输出用于使各束电流均匀化的灯丝理论电流，在所述均匀控制步骤中，所述控制装置执行：权重系数计算步骤，计算作为各灯丝电流的变化对各束电流的变化的影响程度的权重系数；以及灯丝理论电流计算步骤，根据在所述权重系数计算步骤中得到的权重系数，分别计算用于使各束电流的值尽可能接近规定的目标电流值的各灯丝的理论电流值。