发明名称 |
一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置及工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置及工艺,包括以下结构:悬挂钩、悬挂臂、上料口、硅片花篮、硝酸溶液槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口;所述悬挂钩挂于悬挂臂上并可以沿所述悬挂臂运动,所述悬挂钩下部设有用于悬挂硅片花篮的挂钩;所述上料口、硝酸氧化槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口依次设置。本发明所带来的有益效果如下:槽式制绒后的硅片可直接放入酸槽内进行氧化扩散,对环境以及设备要求低;磷酸成本更低,更加安全可靠;在相同工艺条件下,方阻均匀性能达到±3左右,使得PN结更加平整;浸泡式扩散工艺对于提高产能和稳定效率起到一定作用。 |
申请公布号 |
CN105609592A |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201610149910.5 |
申请日期 |
2016.03.16 |
申请人 |
上海艾力克新能源有限公司 |
发明人 |
薛相龙;赵戟 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/228(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种晶硅太阳能电池磷酸浸泡式扩散装置,其特征在于,包括以下结构:悬挂钩、悬挂臂、上料口、硅片花篮、硝酸溶液槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口;所述悬挂钩挂于悬挂臂上并可以沿所述悬挂臂运动,所述悬挂钩下部设有用于悬挂硅片花篮的挂钩;所述上料口、硝酸氧化槽、1#水洗槽、2#水洗槽、磷酸溶液槽及下料口依次设置。 |
地址 |
201400 上海市奉贤区奉浦大道1666号 |