一种电感扫描测头的测试装置及测试方法

摘要

本发明公开了一种电感扫描测头的测试装置及测试方法，测试装置包括扫描测头和微进给装置，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。本发明结构简单，可以利用精度很高的微分头对扫描测头的单轴、平面和空间性能进行测试，测试方法简单。

主权项

一种电感扫描测头的测试装置，包括扫描测头和微进给装置，其特征是，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。