高频电力供给装置以及点火电压选定方法

摘要

使负载端电压为高电压，选定等离子体负载的负载端电压为用于产生等离子体放电充分高的点火电压。在从高频电源通过供电部进行的向负载的高频电力的供给中，(a)使高频电源部的内部阻抗为比供电部的特性阻抗低的阻抗，(b)将连接高频电源和负载供给高频电力的供电部的电长度L_E相对于高频交流的基本波长λ被选定为预定的关系，由此使负载端电压为高电压。关于供电部的电长度L_E的选定，使作为负载的输入端的负载端为开路状态时的电长度L_E相对于高频交流的基本波长λ为(2n-1)·(λ/4)-k·λ≤L_E≤(2n-1)·(λ/4)+k·λ，n为整数，k为{π-2·cos^－1(1/K)}/(4π)。

主权项

一种高频电力供给装置，其特征在于，具备：通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流的高频电源部；以及连接在所述高频电源部的输出端和作为负载的输入端的负载端之间，将所述高频交流提供给负载的供电部，所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电部的特性阻抗低的阻抗，所述供电部在所述负载端为开路状态时的电长度L_E是相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ的值，其中n为整数，k是通过{π－2·cos^－1(1/K)}/(4π)得出的、用于决定使负载端电压V_z为RF电源电压V_g的K倍的电长度L_E的范围的系数，z＝L_E。