衬底保持器、光刻设备、器件制造方法和制造衬底保持器的方法

摘要

本发明公开了一种衬底保持器、光刻设备、器件制造方法和制造衬底保持器的方法。用于光刻设备的衬底保持器具有设置在其表面上的平坦化层。该平坦化层提供平滑表面，用于形成薄膜叠层以形成电子部件。该薄膜叠层包括可选的隔离层、用于形成电极、传感器、加热器、晶体管或逻辑器件的金属层以及顶部隔离层。

主权项

一种用于光刻设备中的衬底保持器，所述衬底保持器包括：主体，所述主体具有表面；多个突节，所述突节从所述表面突出且具有支撑衬底的端面；平坦化层，所述平坦化层设置在所述主体的表面的至少一部分上，所述平坦化层包括第一子层和第二子层，所述第二子层具有不同于所述第一子层的成分；和薄膜叠层，所述薄膜叠层设置在所述平坦化层上且形成电子部件；其中所述电子部件是传感器；所述传感器包括导电体，所述导电体布置成减小或最小化对电磁干扰的接收。