| 摘要 |
반사파에 의한 플라즈마의 미착화 상태의 검출에 있어서, 정상적인 플라즈마 착화시에 있어서의 오검출을 방지하여 플라즈마 이상시의 미착화 상태를 검출한다. 고주파 전원으로부터 펄스 구동에 의하여 플라즈마 부하에 대하여 펄스 출력을 공급할 때에, 플라즈마 이상시의 미착화 상태의 검출을 반사파의 계속 상태에 기초하여 행함으로써, 플라즈마 이상시의 미착화 상태에서 발생하는 전반사파를, 정상적인 착화 상태에서 발생하는 반사파로부터 구별하여 검출한다. 이것에 의하여, 반사파의 파고값과 임계치를 비교함으로써, 미착화 상태의 검출에 있어서, 정상적인 착화 상태에서 발생하는 반사파를 이상한 미착화 상태에서 발생하는 전반사로서 오검출하는 것을 방지한다. |
