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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer (100) Folgendes aufweisen: eine in der Vakuumkammer (100) angeordnete Transportwalze (104) zum Transportieren eines Substrats (420) in einer Transportebene (101e) in der Vakuumkammer (100); und eine unterhalb der Transportebene (101e) angeordnete Gasseparationsstruktur (106) mit einem Dichtungselement (106d) zum Abdichten eines Spalts zwischen der Gasseparationsstruktur (106) und der Transportwalze (104), wobei das Dichtungselement (106d) an der Transportwalze (104) anliegt. |
