イオン注入のための組成物、システムおよび方法

摘要

ドーパント種の注入用の、イオン注入のための組成物、システムおよび方法を記載する。特定のセレンドーパント源組成物および注入システム特徴、例えばレシピ遷移、ビーム安定性、発生源の寿命、ビーム均一性、ビーム電流および所有するコストにおける有利性を達成するための並行流ガスの使用を記載する。