カルコゲナイド系ナノ線を利用した熱化学ガスセンサー及びその製造方法

摘要

本発明は、前面、後面及び側面を含み、前記前面及び前記後面を貫通する複数の気孔が設けられた多孔性アルミナテンプレートと、前記多孔性アルミナテンプレートの後面に設けられ、複数の気孔を覆う、電気伝導性を有するシード層と、前記複数の気孔を通じて露出したシード層に接触し、前記複数の気孔内に設けられた複数のカルコゲナイド系ナノ線と、前記カルコゲナイド系ナノ線と接触しながら前記多孔性アルミナテンプレートの前面に設けられた電極と、前記電極と電気的に連結される電極線と、前記電極の上部に設けられ、感知しようとするガスと接触して発熱反応を起こす多孔性白金−アルミナ複合体または多孔性パラジウム−アルミナ複合体とを含み、前記カルコゲナイド系ナノ線は、ＢｉｘＴｅｙ（１．５≦ｘ≦２．５、２．４≦ｙ≦３．６）、ＳｂｘＴｅｙ（１．５≦ｘ≦２．５、２．４≦ｙ≦３．６）または（Ｂｉ１−ｘＳｂｘ）Ｔｅ３（０＜ｘ＜１）よりなる熱化学ガスセンサー及びその製造方法に関する。本発明によれば、感知しようとするガスに反応する多孔性白金−アルミナ複合体または多孔性パラジウム−アルミナ複合体の変化を通じて所望の種類の多様なガスを感知することができ、ガスを感知することによって現われる温度、微細な起電力の変化を確認することができるので、ガスを利用した熱電性能指数の評価にも活用が可能である。【選択図】図１０