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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung zum Transportieren zumindest zweier Substrate (60; 160), mit: – einer sich in einer Längsrichtung (z) erstreckenden Basis (12), – einer ersten und mit einer zweiten Trägerstruktur (14, 16), welche jeweils mit einem unteren Sockelabschnitt (14a, 16a) an gegenüberliegenden Seiten der Basis (12) an der Basis (12) angeordnet sind und welche sich mit einem dem Sockelabschnitt (14a, 14b) gegenüberliegenden oberen Kopfende (14b, 16b) von der Basis (12) nach oben erstrecken, – wobei die erste Trägerstruktur (14) an einer der zweiten Trägerstruktur (16) abgewandten Außenseite eine erste Trägerebene (18) zur Aufnahme zumindest eines ersten Substrats (60; 160) aufweist und wobei die zweite Trägerstruktur (16) an einer der ersten Trägerstruktur (14) abgewandten Außenseite eine zweite Trägerebene (20) zur Aufnahme zumindest eines zweiten Substrats (60; 160) aufweist, wobei die erste und die zweite Trägerebene (18, 20) im Bereich der Sockelabschnitte (14a, 16a) einen größeren Abstand (d2) zueinander aufweisen als im Bereich der Kopfenden (14b, 16b). |
