Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors

摘要

Ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Lötprozess, wobei das Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei erfindungsgemäß bei der Durchführung des Sputterverfahrens ein Zwischentarget durch Sputtern von Komponenten des Aktivhartlots mit dem Aktivhartlot beschichtet wird (131), und mindestens ein Keramikteil, vorzugsweise beide Keramikteile abschnittsweise durch Sputtern des beschichteten Zwischentargets mit dem Aktivhartlot beschichtet wird bzw. werden (132).