发明名称 强磁性TiO<sub>2</sub>半导体材料、制备方法、自旋电子器件
摘要 本发明涉及材料领域,尤其涉及一种强磁性TiO<sub>2</sub>半导体材料,包括衬底和设置在衬底上的TiO<sub>2</sub>层;所述TiO<sub>2</sub>层为形貌均一、六角堆积的蜂窝状纳米结构阵列;所述TiO<sub>2</sub>层的纳米颗粒大小3~5nm。该材料制备方法包括:清洗衬底;在硅衬底形成单层胶体晶体模板;浸泡在前驱体溶液中;取出后浸入二氯甲烷中,溶解掉聚苯乙烯模板,形成蜂窝状结构的TiO<sub>2</sub>纳米阵列材料。本发明以单层胶体晶体为模板,结合溶液浸渍法成功制备出形貌均一,周期性排列的蜂窝状TiO<sub>2</sub>纳米结构阵列,该材料在室温下显现出较强的铁磁性。本发明可促进TiO<sub>2</sub>稀磁半导体材料在新型自旋电子器件领域的应用。
申请公布号 CN105590838A 申请公布日期 2016.05.18
申请号 CN201510984282.8 申请日期 2015.12.25
申请人 台州学院;刘彦平;詹白勺 发明人 刘彦平;陈基根;李志刚;钟文武;詹白勺
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L29/82(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项  一种强磁性TiO<sub>2</sub>半导体材料,其特征在于:包括衬底和设置在衬底上的TiO<sub>2</sub>层;所述TiO<sub>2</sub>层为形貌均一、六角堆积的蜂窝状纳米结构阵列;所述TiO<sub>2</sub>层的纳米颗粒大小3~5 nm。
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