| 发明名称 | 制备多晶硅的方法和系统以及提纯三氯氢硅的方法和系统 | ||
| 摘要 | 本发明提出了制备多晶硅的系统和方法以及提纯三氯氢硅的方法和系统。其中，制备多晶硅的方法包括：(1)利用热水分别对氢气和三氯氢硅进行加热，以便得到经过冷却的热水和经过加热处理的氢气和三氯氢硅，(2)使经过加热处理的氢气和三氯氢硅在还原炉内发生还原反应，以便得到多晶硅和还原尾气，对所述还原炉进行水冷并得到第一热水；(3)利用还原尾气对经过冷却的热水进行加热并得到第二热水；以及(4)将第一热水和第二热水混合得到还原工段热水，并将还原工段热水作为精馏塔的热源用于提纯三氯氢硅，以便得到提纯工段返回水；其中，第一热水和第二热水均为145～155摄氏度。利用上述方法可以实现水资源和热能的循环利用，进而显著节省能耗。 | ||
| 申请公布号 | CN104003396B | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201410260437.9 | 申请日期 | 2014.06.12 |
| 申请人 | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 | 发明人 | 李锋;王利强;张艳春;濮希杰;张晓峰;高阳;隋永亮;庄志远 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 李志东 |
| 主权项 | 一种制备多晶硅的方法，其特征在于，包括：(1)利用热水分别对氢气和三氯氢硅进行加热，以便得到经过冷却的热水和经过加热处理的氢气和三氯氢硅，(2)使步骤(1)中得到的所述经过加热处理的氢气和三氯氢硅在还原炉内发生还原反应，以便得到多晶硅和还原尾气，其中，在还原反应过程中，对所述还原炉进行水冷，并得到第一热水；(3)利用所述还原尾气对步骤(1)中所得到的经过冷却的热水进行加热，以便得到第二热水；以及(4)将所述第一热水和所述第二热水进行混合，以便得到还原工段热水，并将所述还原工段热水作为精馏塔的热源用于提纯三氯氢硅，以便得到提纯工段返回水；其中，所述第一热水和所述第二热水的温度分别独立地在145～155摄氏度范围内，在步骤(1)中所采用的热水温度为130摄氏度，在步骤(2)中采用130摄氏度的水分别对所述还原炉的底盘和夹套进行所述水冷。 | ||
| 地址 | 010321 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗大路新区东工业园 | ||