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发明名称 Einrichtung zur Bearbeitung von Materialoberflächen
摘要
申请公布号 DE102005005709(B4) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 DE200510005709 申请日期 2005.01.31
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN 发明人 KNORR, JUERGEN;LIPPMANN, WOLFGANG;REINECKE, ANNE-MARIA;RASPER, ROLAND;WOLF, REGINE
分类号 B23K26/16;A61L2/08;B08B7/00;G21F9/28;H01J37/317;H01L21/302 主分类号 B23K26/16
代理机构 代理人
主权项
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