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发明名称 高純度アルミニウム製スパッタリングターゲット用熱間圧材の製造方法
摘要
申请公布号 JP5920117(B2) 申请公布日期 2016.05.18
申请号 JP20120190375 申请日期 2012.08.30
申请人 新日鐵住金株式会社 发明人 高松 学;前田 尚志;渋谷 将行
分类号 C23C14/34;C22F1/04 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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