借助微探针分析辐照材料的分析装置

摘要

本发明涉及一种分析装置(10)，其具有：主包壳体(11)，其配有辅助包壳体(15)；微探针(14)，其布置在主包壳体中并配有减压室(26)和物件运动件(20，22)；以及样品活动支承件(28)，其从辅助包壳体至减压室以及从减压室至物件运动件是能移动的。减压室和物件运动件每个都具有一个样品活动支承件的导向构件(57，59)以及一个检测样品活动支承件出现的检测传感器(60)。

主权项

借助微探针(14)分析材料的分析装置(10)，其特征在于，所述分析装置具有：‑主包壳体(11)，其包括辅助包壳体(15)；‑微探针(14)，其布置在主包壳体中并配有物件运动件(20，22)，微探针包括：－分析室，用于接受样品，－枪，用于沿枪的轴线用电子束轰击放置在分析室中的样品，－电子柱，用于将电子束聚焦在样品上，以及－光谱仪，被布置用于在电子束与样品的材料之间产生互作用时接收样品发出的X射线；物件运动件包括交叉移动式工作台，交叉移动式工作台用于沿着垂直于枪的轴线的平面的两条正交轴线以及沿着枪的轴线移动要被轰击的样品区域；‑减压室(26)，其布置在主包壳体中并连接至微探针和辅助包壳体；和‑样品活动支承件(28)，其从辅助包壳体至减压室以及从减压室至物件运动件是能移动的；并且，减压室和物件运动件每个都具有一个用于在样品活动支承件移动时引导该样品活动支承件的样品活动支承件的导向构件(57，59)，以及减压室和物件运动件每个都具有一个检测样品活动支承件出现的检测传感器(60)。