发明名称 |
DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE UTILIZING LIGHT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09311109(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
申请号 |
JP19960126613 |
申请日期 |
1996.05.22 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAMOTO KENJI;NISHII KANJI;ITO MASAYA;FUKUI KOJI;TAKADA KAZUMASA |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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