发明名称 |
短波红外多通道集成光谱组件 |
摘要 |
本专利公开了一种短波红外多通道集成光谱组件,它包括:高长宽比InGaAs线列光敏芯片、读出电路、过渡电极板、测温电阻、半导体致冷器、多通道数字式分光器、窗口、金属管壳与盖板。多通道数字式分光器作为微型光谱仪的分光元件,通过边缘金属化焊接直接固定在高长宽比InGaAs线列光敏芯片上,集成在探测器组件内部。本专利优点是:InGaAs线列光敏芯片的光敏元为高长宽比结构,可提高光谱测试的信噪比;多通道数字式分光器可在单个基片上实现光谱的精细调控,并抑制各通道内的光谱噪声、通道间串音、通道外杂散光;在探测器组件实现多个光谱通道探测简化了微型光谱仪的结构,提高仪器的可靠性和稳定性,减轻仪器的重量。 |
申请公布号 |
CN205246212U |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201520978955.4 |
申请日期 |
2015.12.01 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所;上海晶鼎光电科技有限公司 |
发明人 |
邵秀梅;周东平;方家熊;程吉凤;徐勤飞;黄松垒;陈郁 |
分类号 |
G01J3/28(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01J3/28(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
一种短波红外多通道集成光谱组件,包括高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)、读出电路(2)、过渡电极板(3)、测温电阻(4)、半导体致冷器(5)、多通道数字式分光器(6)、窗口(7)、金属管壳(8)与盖板(9),其特征在于:所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)与读出电路(2)通过倒焊互连,多通道数字式分光器(6)通过边缘金属化焊接光谱通道以外的区域,直接与高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)耦合,集成到短波红外多通道集成光谱组件中,密封在一个金属管壳(8)的内部,在微小区域内构成有多个光谱通道的集成光谱组件。 |
地址 |
200083 上海市虹口区玉田路500号 |