MEMS可变电容器及其驱动方法

摘要

本文公开了一种MEMS可变电容器及其驱动方法，该MEMS可变电容器包括：第一电极，浮置在第一电极的上部上方的第二电极，在第二电极的侧面处分离开的固定电极，以及设置在第二电极和固定电极之间、连接至第二电极并且通过施加到固定电极的电压来与固定电极物理接触的漂移电极。

主权项

一种微电子机械系统可变电容器，其特征在于：第一电极；浮置在所述第一电极的上部上方的第二电极；在所述第二电极的侧面处分离开的固定电极；电源，其包括第一电源和第二电源，所述第一电源用于向所述第一电极施加电压，所述第二电源用于向所述固定电极施加电压；以及漂移电极，其被设置在所述第二电极和所述固定电极之间、连接至所述第二电极并且通过所述第二电源的施加到所述固定电极的电压来与所述固定电极物理接触，其中，所述第二电极通过所述第一电源的电压接触所述第一电极；其中，所述第一电源的电压低于吸合电压，并且所述第二电源的电压高于所述吸合电压。