发明名称 电浆处理装置用之零件、电浆处理装置、及电浆处理装置用之零件的制造方法
摘要 明之课题在于:改善具有贯通孔且曝露在电浆下之零件的耐受电压。 为解决该课题,本发明之一实施形态之零件,具有母材、防蚀铝层、以及热熔射膜。母材上形成有复数之贯通孔。母材具有粗面,该粗面上开通有复数之贯通孔之一端。防蚀铝层系藉由阳极氧化处理,而形成在包含该粗面之母材的表面。热熔射膜系隔着防蚀铝层而设于粗面上。
申请公布号 TW201618602 申请公布日期 2016.05.16
申请号 TW104122240 申请日期 2015.07.09
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 三桥康至;西村敏
分类号 H05H1/34(2006.01);H01L21/67(2006.01);B23Q3/154(2006.01) 主分类号 H05H1/34(2006.01)
代理机构 代理人 周良谋;周良吉
主权项 一种电浆处理装置用之零件,该零件曝露在电浆下,包括: 母材,形成有复数之贯通孔,并具有粗面,该复数之贯通孔之一端开口于该粗面上; 防蚀铝层,藉由阳极氧化处理,而形成在包含该粗面之该母材的表面;以及 热熔射膜,隔着该防蚀铝层而设于该粗面上。
地址 日本