发明名称 |
电浆处理装置用之零件、电浆处理装置、及电浆处理装置用之零件的制造方法 |
摘要 |
明之课题在于:改善具有贯通孔且曝露在电浆下之零件的耐受电压。 为解决该课题,本发明之一实施形态之零件,具有母材、防蚀铝层、以及热熔射膜。母材上形成有复数之贯通孔。母材具有粗面,该粗面上开通有复数之贯通孔之一端。防蚀铝层系藉由阳极氧化处理,而形成在包含该粗面之母材的表面。热熔射膜系隔着防蚀铝层而设于粗面上。 |
申请公布号 |
TW201618602 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
申请号 |
TW104122240 |
申请日期 |
2015.07.09 |
申请人 |
东京威力科创股份有限公司 |
发明人 |
三桥康至;西村敏 |
分类号 |
H05H1/34(2006.01);H01L21/67(2006.01);B23Q3/154(2006.01) |
主分类号 |
H05H1/34(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
周良谋;周良吉 |
主权项 |
一种电浆处理装置用之零件,该零件曝露在电浆下,包括: 母材,形成有复数之贯通孔,并具有粗面,该复数之贯通孔之一端开口于该粗面上; 防蚀铝层,藉由阳极氧化处理,而形成在包含该粗面之该母材的表面;以及 热熔射膜,隔着该防蚀铝层而设于该粗面上。 |
地址 |
日本 |