带电粒子束样本检查系统及用于其中操作之方法

摘要

一种带电粒子束样本检查系统。该系统包括一放射器、一样本支撑台、一物透镜、一电荷控制电极与一淹没式电子枪，该放射器用以放射至少一带电粒子束，该样本支撑台系经配置以支撑该样本，该物透镜系用于聚焦该至少一带电粒子束，该电荷控制电极系被提供于该物透镜与该样本支撑台之间，其中该电荷控制电极具有用于该至少一带电粒子束之至少一孔径开口，而该淹没式电子枪经配置以放射进一步带电粒子以对该样本充电，其中该电荷控制电极具有一淹没式电子枪孔径开口。

主权项

一种带电粒子束样本检查系统，该系统包括：一放射器，用以放射至少一带电粒子束；一样本支撑台，经配置以支撑一样本；一物透镜，用以聚焦该至少一带电粒子束；一电荷控制电极，被提供于该物透镜与该样本支撑台之间，其中该电荷控制电极具有用于该至少一带电粒子束之至少一孔径开口；及一淹没式电子枪，经配置以放射进一步带电粒子以对该样本充电，其中该电荷控制电极具有一淹没式电子枪孔径开口。