トリクロロシランの製造方法

摘要

本発明は、銅シリサイドが形成されたシリコンを用いて向上した収率でトリクロロシランを得ることができるトリクロロシランの製造方法を提供する。本発明に係るトリクロロシランの製造方法は、シリコン（Ｓｉ）および銅（Ｃｕ）化合物を前記銅化合物の溶融点以上に熱処理することによって前記シリコンに銅シリサイドを形成する段階と、前記銅シリサイドが形成されたシリコンに四塩化シリコンおよび水素を供給して塩化水素化反応を行う段階と、を含む。