元件之检查方法、探针卡、中介层及检查装置

摘要

输出入电路(33)，系具备有：输入线(41)；共同输出线(51)；复数条个别输出线(52)；继电器开关部(53)；及电阻元件(54)。在比较器(32)，系连接有共同输出线(51)(该共同输出线，系将来自复数个DUT(10)的响应信号合成并传送)。比较器(32)，系将合成响应信号(该合成响应信号，系将回应从图案产生器(31)所发送的测试信号而从复数个DUT(10)所分别输出的响应信号合成为1个)与阈值作比较。

主权项

一种元件之检查方法，系检查形成于基板上之复数个元件的电性特性，该元件之检查方法，其特征系，包含有：第1步骤，从前述测试器，对并联地连接于测试器的复数个元件同时地输入测试信号；及第2步骤，根据来自基于所输入之前述测试信号之前述复数个元件之响应信号的合成值，进行前述复数个元件的1个以上是否为不合格之判定。