触媒层形成方法、触媒层形成系统及记忆媒体

摘要

板表面整个区域及凹部内面整个区域形成均匀的触媒层。
对基板形成触媒层的触媒层形成方法，系具备有：第1供给工程，将触媒溶液供给至基板(2)整个区域上，而形成基板表面触媒层(22)；及第2供给工程，一边使基板(2)旋转，一边对基板(2)的部供给触媒溶液，而形成凹部内面触媒层(22)。

主权项

一种触媒层形成方法，系对基板形成触媒层，该触媒层形成方法，其特征系，具备有：准备具有凹部之基板的工程；第1供给工程，将包含有触媒的触媒溶液，以遍及至前述基板表面整个区域的方式，供给至前述基板上，且使触媒均匀地吸附于前述基板表面整个区域，而形成基板表面触媒层；及第2供给工程，一边使前述基板旋转，一边对前述基板之中央部供给前述触媒溶液，使触媒吸附于前述凹部内面整个区域，而形成凹部内面触媒层。