发明名称 热电元件之制程
摘要 明系提供一种热电元件之制程,其特征在于利用半导体制程技术建构出具有奈微米间隙的热电元件,目的在于降低元件的热传导系数,以大幅提升热电元件的热电能源转换效率。此外,于热电元件的奈微米间隙中添加奈米颗粒,更可以增加元件的导电性,进而再次提升热电元件的热电能源转换效率。
申请公布号 TW201618343 申请公布日期 2016.05.16
申请号 TW103139431 申请日期 2014.11.13
申请人 国立清华大学 发明人 赖梅凤;卫荣汉;黄晧庭
分类号 H01L35/04(2006.01);H01L35/34(2006.01) 主分类号 H01L35/04(2006.01)
代理机构 代理人 杨长峯;李国光;张仲谦
主权项 【第1项】一种热电元件制程,包含:制备至少二奈微米尖端结构,该至少二奈微米尖端结构之一尖端系相对间隔一奈微米间隙;以及
地址 新竹市光复路2段101号