发明名称 |
磁気構造体の処理方法 |
摘要 |
CoFeB合金を含む磁性材料の少なくとも1つの第1の層を備える磁気構造体を提供する段階(S10)、前記磁気構造体に低エネルギーの軽イオンを照射する段階(S20)、及び、同時に、前記磁気構造体を所定温度プロファイルで所定時間保持する段階(S30)を含むことを特徴とする、磁性材料を処理する方法。 |
申请公布号 |
JP2016513374(A) |
申请公布日期 |
2016.05.12 |
申请号 |
JP20150559534 |
申请日期 |
2014.02.21 |
申请人 |
サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク−セ・エン・エール・エス−;ユニヴェルシテ・パリ・シュド・(パリ・11) |
发明人 |
ダフィーヌ・ラヴェロソナ |
分类号 |
H01F10/16;H01F41/22;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/12 |
主分类号 |
H01F10/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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