发明名称 磁気構造体の処理方法
摘要 CoFeB合金を含む磁性材料の少なくとも1つの第1の層を備える磁気構造体を提供する段階(S10)、前記磁気構造体に低エネルギーの軽イオンを照射する段階(S20)、及び、同時に、前記磁気構造体を所定温度プロファイルで所定時間保持する段階(S30)を含むことを特徴とする、磁性材料を処理する方法。
申请公布号 JP2016513374(A) 申请公布日期 2016.05.12
申请号 JP20150559534 申请日期 2014.02.21
申请人 サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク−セ・エン・エール・エス−;ユニヴェルシテ・パリ・シュド・(パリ・11) 发明人 ダフィーヌ・ラヴェロソナ
分类号 H01F10/16;H01F41/22;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/12 主分类号 H01F10/16
代理机构 代理人
主权项
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