一种AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法

摘要

本发明公开了一种AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法。该方法是以进行表面洁净处理并除去表面SiO₂氧化层的商品AFM硅针尖作为电镀基底，在合适的电镀金溶液中，采用脉冲电镀方法，沉积出一层纳米厚度且致密的金薄膜。本发明采用的商品AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法，方法和设备简单；成本低廉；制备的金膜特征重现性好；所得金膜与基底结合力良好、金颗粒细小、致密并分布均匀；金膜厚度5～75nm；针尖表面金膜曲率半径可小于25nm；制备的原子力显微镜针尖具有针尖增强拉曼光谱（TERS）活性。

主权项

一种原子力显微镜硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法，其特征是：直接以进行表面洁净处理并除去表面SiO₂氧化层的AFM硅针尖作为电镀基底，在电镀金溶液中，采用方波脉冲电镀方法，沉积出一层纳米厚度的致密金薄膜。