发明名称 金属酸化物薄膜およびナノ材料から誘導される金属複合薄膜の低温製造
摘要 Disclosed are new methods of fabricating nanomaterial-derived metal composite thin films via solution processes at low temperatures (<400° C.). The present thin films are useful as thin film semiconductors, thin film dielectrics, or thin film conductors, and can be implemented into semiconductor devices such as thin film transistors and thin film photovoltaic devices.
申请公布号 JP5916761(B2) 申请公布日期 2016.05.11
申请号 JP20130551401 申请日期 2012.01.27
申请人 ノースウェスタン ユニバーシティ;ポリエラ コーポレイション 发明人 ファチェッティ, アントニオ;マークス, トビン ジェイ.;カナッツィディス, メルコーリ ジー.;キム, ミュン−ギル;シーツ, ウィリアム クリストファー;ヤン, ヒ;シア, ユー
分类号 H01B13/00;H01B5/14;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/42;H01L21/428;H01L21/477;H01L29/786;H01L51/46;H01L51/48 主分类号 H01B13/00
代理机构 代理人
主权项
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