发明名称 |
基底处理工具 |
摘要 |
一种基底处理设备包括框架、连接到框架上的第一SCARA臂,其包括构造成沿第一径向轴线延伸和收缩的末端执行器;连接到框架上的第二SCARA臂,其包括构造成沿第二径向轴线延伸和收缩的末端执行器,SCARA臂具有公共肩部旋转轴线;以及联接到SCARA臂上的驱动区段构造成使各个SCARA臂沿相应的径向轴线独立地延伸,且使各个SCARA臂围绕公共肩部旋转轴线旋转,其中第一径向轴线相对于第二径向轴线成角,且相应的臂的末端执行器与相应的径向轴线对准,其中各个末端执行器构造成用以保持至少一个基底,且末端执行器位于公共传递平面上。 |
申请公布号 |
CN103503127B |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
申请号 |
CN201280022639.9 |
申请日期 |
2012.03.12 |
申请人 |
布鲁克斯自动化公司 |
发明人 |
U.吉尔克里斯特;R.T.卡夫尼;J.克里什纳萨米;M.德鲁;J.T.穆拉 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
姚李英;严志军 |
主权项 |
一种基底处理设备,包括:框架;连接到所述框架上的第一SCARA臂,所述第一SCARA臂包括末端执行器且构造成用以沿第一径向轴线延伸和收缩;连接到所述框架上的第二SCARA臂,所述第二SCARA臂包括末端执行器且构造成沿第二径向轴线延伸和收缩,所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂具有公共的肩部旋转轴线;联接到所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂上的驱动区段,所述驱动区段构造成使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个沿相应的径向轴线独立地延伸,且使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个围绕所述公共肩部旋转轴线旋转,其中所述第一径向轴线相对于所述第二径向轴线成角,且相应的臂的所述末端执行器与相应的径向轴线对准;以及连接到所述驱动区段上的控制器,所述控制器构造成用以:控制器所述驱动区段来驱动所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂,以及识别所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂的旋转何时将导致所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂之间的干扰;其中各个末端执行器构造成用以保持至少一个基底,且所述末端执行器位于公共传递平面上。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |