薄板移送装置及薄板清扫系统

摘要

供可有效率地翻转薄板的薄板移送装置作为课题。
本发明的薄板移送装置，系具备：吸附部，系于第1收授区域中吸附于薄板的下面，于第2收授区域中解放前述薄板；机械臂，系一端侧附设有该吸附部；及旋转部，系支持该机械臂的另一端侧，能以位于与被前述吸附部吸附时的前述薄板平行之平面上的旋转轴为中心，360°旋转。

主权项

一种薄板移送装置，其特征为具备：吸附部，系于第1收授区域中吸附薄板之下侧的面，于第2收授区域中解放前述薄板；机械臂，系一端侧附设有该吸附部；及旋转部，系支持该机械臂的另一端侧，能以位于与被前述吸附部吸附时的前述薄板平行之平面上的旋转轴为中心，360°旋转；复数前述吸附部及前述机械臂，系以前述旋转部为中心，略对称地配置；前述第1收授区域与前述第2收授区域，系位于以前述旋转轴为中心，略对称的位置；更具备：突出机构，系设置在前述旋转部与前述机械臂之间，对于前述旋转部，使前述机械臂往前述吸附部的吸引方向突出或后退；前述吸附部，系于前述第1收授区域中，藉由前述突出机构使前述机械臂退后，比前述薄板更往下方退避，且藉由前述突出机构使前述机械臂突出，抬高前述薄板。