用于制作切削刀具表面的薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于制作切削刀具表面的薄膜的装置，包括镀膜室，镀膜室的底部设有旋转平台，该旋转平台上固定切削刀具，旋转平台带动切削刀具旋转，切削刀具具有需要镀膜的切削部；镀膜室的第一侧壁设置有阴极靶，阴极靶与待镀膜的切削部正对设置；镀膜室的第二侧壁和第三侧壁分别设置有惰性气体入口和反应气体入口，惰性气体入口和反应气体入口的位置方向正对，旋转平台与惰性气体入口和反应气体入口等距；惰性气体入口和反应气体入口分别设有质量流量控制器。本实用新型提供的用于制作切削刀具表面的薄膜的装置减少了镀膜时大颗粒在切削刀具表面沉积，形成的硬质薄膜的表面粗糙度得到改善，且硬质薄膜的附着力得到提升。

主权项

用于制作切削刀具表面的薄膜的装置，包括镀膜室，所述镀膜室连接有用于将所述镀膜室抽真空的真空系统，其特征在于：所述镀膜室的底部设有旋转平台，该旋转平台上固定切削刀具，所述旋转平台带动所述切削刀具旋转，所述切削刀具具有待镀膜的切削部；所述镀膜室的第一侧壁设置有阴极靶，所述阴极靶与所述待镀膜的切削部正对设置；所述镀膜室的第二侧壁和第三侧壁分别设有惰性气体入口和反应气体入口，所述惰性气体入口和反应气体入口的位置方向正对设置；所述旋转平台设置于所述惰性气体入口和反应气体入口之间，且与所述惰性气体入口和所述反应气体入口等距；所述惰性气体入口与惰性气体源连通，所述反应气体入口与反应气体源连通，所述惰性气体入口和所述反应气体入口分别设有质量流量控制器。