Method of coincidental displaying by secondary electrons and apparatus for making the same

摘要

Vynález se týká způsobu koincidenčního zobrazování sekundárními elektrony (1). Při průchodu primárního záření (5) vodivou plošnou elektrodou (2) dojde k emisi sekundárních elektronů (1). Dopad sekundárních elektronů (1) na detektor (4) je zaznamenán. Aby nebyly výsledky detekce zkresleny o náhodné sekundární elektrony (1) např. z termoemise, jsou registrovány pouze koincidenční skupiny sekundárních elektronů (1), které nesou dostatečnou energii (E) k překonání detekčního prahu (6). Zařízení pro koincidenční zobrazování zahrnuje plošnou elektrodu (2) pro emisi sekundárních elektronů (1), zobrazovací detektor (4) s citlivým povrchem (10) propojený s elektronickým čipem (11), vakuový prostor mezi plošnou elektrodou (2) a citlivým povrchem (10) a řídící jednotku (14). Zobrazovací detektor (4) je pixelový polovodičový detektor. Ve výhodném provedení je před plošnou elektrodou (2) umístěn scintilátor (13).