保护膜检测装置和保护膜检测方法

摘要

提供保护膜检测装置和保护膜检测方法，当在被加工物的加工面上覆盖保护膜的情况下，能够高精度地确认是否在一整面上覆盖了保护膜。对覆盖了保护膜的被加工物W的上表面供给雾，对被加工物的上表面照射光(110)并拍摄供给雾后的被加工物W的上表面，根据通过拍摄取得的图像，使用覆盖有保护膜的区域(830)与由于未覆盖保护膜而形成有微细的液滴的凹凸且产生照射光的米氏散射的区域(831)之间的拍摄图像中的反射光的强度差，检测未覆盖保护膜的区域，从而高精度地确认是否在一整面上覆盖了保护膜。

主权项

一种保护膜检测装置，对于覆盖了保护膜的被加工物的上表面，检测期望的区域是否实际上被所述保护膜覆盖，其特征在于，该保护膜检测装置具有：保持工作台，其对在上表面上覆盖有所述保护膜的被加工物进行保持；液滴形成单元，其在保持在所述保持工作台上的所述被加工物的上表面上形成液滴；投光单元，其将来自光源的光照射至被加工物正面；拍摄单元，其对所述被加工物的上表面进行拍摄；图像保持单元，其以能够读出的方式保持由所述拍摄单元拍摄到的图像；图像处理单元，其对由所述图像保持单元保持的图像进行处理；以及检测单元，其根据由所述拍摄单元拍摄到的所述被加工物的上表面的图像信息，通过所述图像处理单元的图像处理，使用覆盖有保护膜的区域与由于未覆盖所述保护膜而形成有微细的液滴的凹凸且产生基于所述投光单元的照射光的米氏散射的区域之间的拍摄图像中的强度差，检测未覆盖所述保护膜的区域。