| 发明名称 | 一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜，属于极紫外多层膜的设计领域。所述具有光谱纯化功能的极紫外多层膜从下至上依次包括：基底、周期性MoSi多层膜、第一光谱纯化层、Si层和第二光谱纯化层。本发明提供的具有光谱纯化功能的极紫外多层膜是在MoSi多层膜上表面引入光谱纯化层/Si/光谱纯化层的三明治结构的多层膜。该多层膜能够在对工作波长的反射率的影响较小的条件下降低对深紫外波段的反射率，进而降低系统中深紫外波段的能量，避免光刻胶对深紫外波段感光。 | ||
| 申请公布号 | CN105572769A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201510956462.5 | 申请日期 | 2015.12.21 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 姚舜;喻波;金春水 |
| 分类号 | G02B1/115(2015.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B1/115(2015.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 南小平 |
| 主权项 | 一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜，其特征在于，该多层膜从下至上依次包括：基底、周期性MoSi多层膜、第一光谱纯化层、Si层和第二光谱纯化层。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||