可流动膜固化穿透深度改善和应力调谐

摘要

本文公开了用于沉积和固化可流动电介质层的方法。方法可包括：形成可流动电介质层，将可流动电介质层浸入含氧气体中，净化腔室，以及利用UV辐射来固化所述层。通过在含氧气体预浸透之后固化所述层，可在UV照射期间更完全地固化所述层。

主权项

一种沉积层的方法，所述方法包含：在基板上形成可流动电介质层，所述基板被定位在工艺腔室的处理区域中；将含氧气体传送至所述基板和所述处理区域，所述可流动电介质层被浸没在所述含氧气体中达一段时间，从而产生经浸透的电介质层；在所述一段时间之后，净化来自所述处理区域的所述含氧气体；以及将所述经浸透的电介质层暴露于UV辐射，其中，所述UV辐射至少部分地固化所述经浸透的电介质层。