发明名称 侦测和防止高温金属材料泄漏的加热装置
摘要 本发明提供一种侦测和防止高温金属材料泄漏的加热装置,该加热装置包括:用于容纳高温金属材料(9)的内部加热容器(1)、设于内部加热容器(1)外部的外部加热容器(3)、设于内部加热容器(1)底部且未触及外部加热容器(3)底部的数个端子(5)、连接内部加热容器(1)与外部加热容器(3)的绝缘连接件(20)、电源(6)、及指示装置(7)。当高温金属材料(9)泄漏至外部加热容器(3)时,一个或多个端子(5)接触泄漏的高温金属材料(9),导通内部加热容器(1)、外部加热容器(3)、电源(6)与指示装置(7),触发指示装置(7)工作,从而判定高温金属材料(9)发生泄漏以及时进行处理,防止高温金属材料(9)进一步泄漏。
申请公布号 CN104018123B 申请公布日期 2016.05.11
申请号 CN201410268429.9 申请日期 2014.06.16
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 匡友元
分类号 C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人 林才桂
主权项 一种侦测和防止高温金属材料泄漏的加热装置,其特征在于,包括:用于容纳高温金属材料(9)的内部加热容器(1)、设于内部加热容器(1)外部的外部加热容器(3)、设于内部加热容器(1)底部且未触及外部加热容器(3)底部的数个端子(5)、连接内部加热容器(1)与外部加热容器(3)的绝缘连接件(20)、电源(6)、及指示装置(7);当高温金属材料(9)未泄漏的情况下,所述内部加热容器(1)、外部加热容器(3)、数个端子(5)、电源(6)与指示装置(7)组成一个断路回路;当高温金属材料(9)泄漏至外部加热容器(3)时,一个或多个端子(5)接触泄漏的高温金属材料(9),导通内部加热容器(1)、外部加热容器(3)、电源(6)与指示装置(7),触发指示装置(7)工作,从而判定高温金属材料(9)发生泄漏以及时进行处理,从而防止高温金属材料(9)进一步泄漏。
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