一种基板承载装置

摘要

本发明涉及液晶显示器设计制造技术领域，尤其涉及一种基板承载装置。本发明提供的基板承载装置，包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，粘性吸附机构由粘性材料制成，压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。在使用机械手将基板放置基台上时，通过压合吸附机构吸附基板，并将基板压紧在粘性吸附机构上，由粘性材料制成的粘性吸附机构通过分子间作用力对基板进行吸附，将基板固定在基台上，解决了使用夹持器进行固定带来的基板变形的、基板上镀膜的均匀性较差的问题；与传统的使用三角夹持器的固定方式相比，对于基板的固定更加稳定牢固，基板的形变量更低，镀膜的均一度得到很大的提高，同时也解决了基板变形脱落的缺陷。

主权项

一种基板承载装置，其特征在于：包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。