| 摘要 |
ターゲット位置に入る前に空間的に延在しているターゲット分布又は拡張ターゲットへと修正されているターゲット材料からのフィードバックで、極端紫外線光源からのパワーを強化する技術について説明する。空間的に延在しているターゲット分布からのフィードバックは非共振型の光学キャビティを提供する。なぜなら、フィードバックが生じる経路の往復の長さ及び方向などの幾何形状が経時変化することがある、又は、空間的に延在しているターゲット分布の形状が滑らかで十分な反射を提供しないことがあるからである。しかしながら、上述した幾何学的及び物理的制約を克服した場合、空間的に延在しているターゲット分布からのフィードバックが、共振型でコヒーレントな光学キャビティを提供することが可能になることがある。いかなる場合も、非発振器利得媒体から生成された自然放出光を使用して、フィードバックを発生させることができる。【選択図】図９ |
