一种激光退火设备

摘要

本实用新型公开了一种激光退火设备，其退火腔室中包含与惰性气管相连的惰性气体注射管，惰性气体注射管包含内管和外管，外管的管壁上沿长度方向设有对称的夹缝状开口，内管中包含至少两个子管道，每个子管道的管壁上沿长度方向设有夹缝状开口，且各子管道的一端封闭，另一端与惰性气管相连，相邻两个子管道的封闭一端不同侧，当注入至每个子管道中的惰性气体流量相同时，惰性气流在内、外管之间的空间内混合后，惰性气体的浓度可以实现互补，使得最终形成的气帘中惰性气体的浓度均匀分布，这就保证了在进行激光退火的过程中，非晶硅面板的晶化均匀。

主权项

一种激光退火设备，其中包括：退火腔室，所述退火腔室中包含与惰性气管相连的惰性气体注射管，其特征在于，所述惰性气体注射管包含内管和外管，且所述内管与外管之间不贴合；所述外管的管壁上沿长度方向设有对称的夹缝状开口；所述内管中包含至少两个子管道，每个所述子管道的管壁上沿长度方向设有夹缝状开口，且各子管道的管壁上开口的朝向与所述外管管壁上开口的朝向不一致。