发明名称 一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法
摘要 本发明适用于真空镀膜技术领域,提供了一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法。所述硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层,包括沉积在硬质合金衬底上的碳化硼层,沉积在所述碳化硼层上的金刚石层,所述金刚石层为多晶金刚石层。所述硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层的制备方法,包括以下步骤:提供硬质合金衬底器具,对所述硬质合成器具进行预处理;在所述硬质合金衬底表面沉积碳化硼层;在所述碳化硼层上沉积金刚石层。
申请公布号 CN105543803A 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201510945923.9 申请日期 2015.12.16
申请人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明人 唐永炳;李刚;杨扬
分类号 C23C16/02(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I 主分类号 C23C16/02(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层,其特征在于,包括沉积在硬质合金衬底上的碳化硼层,沉积在所述碳化硼层上的金刚石层,所述金刚石层为多晶金刚石层。
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