发明名称 |
一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法 |
摘要 |
本发明适用于真空镀膜技术领域,提供了一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法。所述硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层,包括沉积在硬质合金衬底上的碳化硼层,沉积在所述碳化硼层上的金刚石层,所述金刚石层为多晶金刚石层。所述硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层的制备方法,包括以下步骤:提供硬质合金衬底器具,对所述硬质合成器具进行预处理;在所述硬质合金衬底表面沉积碳化硼层;在所述碳化硼层上沉积金刚石层。 |
申请公布号 |
CN105543803A |
申请公布日期 |
2016.05.04 |
申请号 |
CN201510945923.9 |
申请日期 |
2015.12.16 |
申请人 |
中国科学院深圳先进技术研究院 |
发明人 |
唐永炳;李刚;杨扬 |
分类号 |
C23C16/02(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/02(2006.01)I |
代理机构 |
深圳中一专利商标事务所 44237 |
代理人 |
张全文 |
主权项 |
一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层,其特征在于,包括沉积在硬质合金衬底上的碳化硼层,沉积在所述碳化硼层上的金刚石层,所述金刚石层为多晶金刚石层。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |