生产气体减少

摘要

本发明公开了一种生产气体减少装置和方法。该生产气体减少装置包括：燃烧器，该燃烧器包括可操作用于可接收来自生产工艺工具的排出气体流的燃烧室，并在燃烧室内处于亚大气压的条件下对排出气体流进行处理，所述燃烧室进一步可操作用于接收燃料、氧化剂和稀释剂，所述燃料、氧化剂和稀释剂在所述燃烧室内可控燃烧来处理所述排出气体流以生成处理后的排出气流，所述稀释剂在所述处理后的排出气流中可压缩。通过以惰性可压缩气体的形式提供稀释剂，燃烧室内的体积增量减小，这减少了排出气流的体积并减少了二次泵的体积负载。所述体积增量的减少是由于在排出气流中的稀释剂变相导致的，这样可以从排出气流中有效地移除稀释剂组分。这导致了可观的能源节约，由于从燃烧室内产生的气体体积变得更小，而这些气体需要通过二次泵的方式被压缩到第二压力，例如大气压。

主权项

一种生产气体减少装置，包括：燃烧器，包括：燃烧室，其可操作以接收待在所述燃烧室内在亚大气压下处理的来自制造工艺工具的排出气体流，所述燃烧室还可操作以接收燃料、氧化剂和稀释剂，所述燃料、氧化剂和稀释剂控制在所述燃烧室内的燃烧来处理所述排出气体流以生成处理后的排出气流，所述稀释剂在所述处理后的排出气流中可冷凝。