| 发明名称 | 使传输中衬底居中的处理设备 | ||
| 摘要 | 一种衬底处理设备，包括：限定腔室的框架，其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面；阀，其安装到框架上，并且构造成在关闭时密封腔室的气氛，阀具有门，门可移动地设置成打开和关闭衬底运送开口；以及至少一个衬底传感器元件，其设置在门的侧部上，并且定向成感测位于衬底转移平面上的衬底。 | ||
| 申请公布号 | CN105556652A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201480049487.0 | 申请日期 | 2014.07.08 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | L.F.沙罗克 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 李强;傅永霄 |
| 主权项 | 一种衬底处理设备，包括：限定腔室的框架，其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面；阀，其安装到所述框架上，并且构造成在关闭时密封所述腔室的气氛，所述阀具有可移动地设置成打开和关闭所述衬底运送开口的门；以及至少一个衬底传感器元件，其设置在所述门的侧部上，并且定向成感测位于所述衬底转移平面上的衬底。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||