一种基于超材料红外光谱的纳米位移传感器及其检测方法

摘要

一种基于超材料红外光谱的纳米位移传感器及其检测方法，涉及位移传感器件。所述基于超材料红外光谱的纳米位移传感器设有位移输入模块和超材料传感模块，所述超材料传感模块从下至上设有校准石墨烯层、支撑衬底层、周期阵列、中间介电层和传感石墨烯层；待测物体通过位移输入模块驱动传感石墨烯层上下移动，从而改变中间介电层的厚度；通过外部红外光谱设备观察传感谱线的移动方向和距离即可确定待测物体纳米量级位移。检测方法：(1)传感器校准；(2)状态归零；(3)位移输入；(4)信号读取；(5)结果分析，根据谱线-位置传感换算曲线得出待测物体纳米量级位移。

主权项

一种基于超材料红外光谱的纳米位移传感器，其特征在于设有位移输入模块和超材料传感模块，所述超材料传感模块从下至上设有校准石墨烯层、支撑衬底层、周期阵列、中间介电层和传感石墨烯层；待测物体通过位移输入模块驱动传感石墨烯层上下移动，从而改变中间介电层的厚度；通过外部红外光谱设备观察传感谱线的移动方向和距离即可确定待测物体纳米量级位移。