| 发明名称 | 具有支撑元件的衬托器 | ||
| 摘要 | 本发明主要涉及用于外延生长的反应器的衬托器，所述衬托器包括：圆盘形主体(90)，其具有第一面和第二面，其中第一面包括适于接收将经受外延生长的基底(2000)的至少一个区(99)；和至少一个支撑元件(91+97)，其用于基底(2000)、位于区(99)处；支撑元件(91+97)包括具有相对于圆盘被升高的边缘(97)的圆形圆盘(91)；区(99)可以是圆盘形主体(90)的凹进部(99)的底部或凸起的顶部；圆盘形主体(90)至少在凹进部(99)或凸起处是实心的。 | ||
| 申请公布号 | CN105555999A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201480052013.1 | 申请日期 | 2014.09.24 |
| 申请人 | LPE公司 | 发明人 | 弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;劳拉·戈博;M·毛切里;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马尔科·普利西;卡尔梅洛·韦基奥 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 张瑞;郑霞 |
| 主权项 | 一种用于外延生长的反应器的衬托器，包括：‑圆盘形主体，其具有第一面和第二面，其中所述第一面包括适于接收将经受外延生长的基底的至少一个区，和‑至少一个支撑元件，其用于放置在所述区处的所述基底；其中所述支撑元件包括具有相对于所述圆盘被升高的边缘的圆形圆盘；其中所述区是所述主体的凹进部的底部或所述主体的凸起的顶部；其中所述主体至少在所述凹进部或所述凸起处是实心的。 | ||
| 地址 | 意大利米兰巴兰扎泰 | ||